中国科学院射频电源组

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中国科学院射频电源组是隶属于中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室的研发与生产部门。
中文名
中国科学院射频电源组
专业研发人员
7人
时    间
1984年
隶    属
中国科学院微电子研究所

中国科学院射频电源组简介

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中国科学院微电子研究所射频电源课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始,在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)的资金支持下,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。

中国科学院射频电源组部门划分

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目前射频电源组分为三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。
产品研发部:有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。
产品生产部:有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套。
产品推广与售后服务部:有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。

中国科学院射频电源组产品规模

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目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,感应加热,医疗领域的消毒与理疗,常压等离子体清洗等领域。

中国科学院射频电源组发展规模

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产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司,得到用户的一致好评。
词条标签:
组织机构 科研机构